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  1. 学術雑誌論文(学内発行分)
  2. 愛知教育大学研究報告. 芸術・保健体育・家政・技術科学・創作編
  3. 第61輯

高周波スパッタリングによるZnO薄膜作製における投入電力の効果

http://hdl.handle.net/10424/4435
http://hdl.handle.net/10424/4435
46632eb0-9c11-4f37-9ae3-e36df2bb7354
名前 / ファイル ライセンス アクション
kengei614957.pdf kengei614957.pdf (2.3 MB)
Item type 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1)
公開日 2012-03-29
タイトル
タイトル 高周波スパッタリングによるZnO薄膜作製における投入電力の効果
言語
言語 jpn
資源タイプ
資源タイプ識別子 http://purl.org/coar/resource_type/c_6501
資源タイプ departmental bulletin paper
その他のタイトル
その他のタイトル Effects of Incident Power on Formation of Zinc Oxide Films by RF Sputtering
著者 清水, 秀己

× 清水, 秀己

WEKO 25
e-Rad 70126936
KAKEN - 研究者検索 70126936

清水, 秀己

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森下, 拓哉

× 森下, 拓哉

WEKO 1066

森下, 拓哉

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研究者総覧へのリンク
清水, 秀己
https://souran.aichi-edu.ac.jp/person/698d51a19d8a121ce581499d7b701668ja.html
著者(別言語)
Shimizu, Hideki
著者(別言語)
Morishita, Takuya
書誌事項 愛知教育大学研究報告. 芸術・保健体育・家政・技術科学・創作編

巻 61, p. 49-57, 発行日 2012-03-01
出版者
出版者 愛知教育大学
ISSN
収録物識別子タイプ ISSN
収録物識別子 1884-5150
書誌情報
愛知教育大学研究報告, 芸術・保健体育・家政・技術科学・創作編. 2012, 61, p. 49-57.
書誌レコードID
収録物識別子タイプ NCID
収録物識別子 AA12466178
著者版フラグ
出版タイプ VoR
出版タイプResource http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85
著者別名
シミズ, ヒデキ
著者別名
モリシタ, タクヤ
資源タイプ
内容記述タイプ Other
内容記述 text
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Ver.1 2023-06-20 15:27:40.348902
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清水, 秀己, 森下, 拓哉, 2012, 高周波スパッタリングによるZnO薄膜作製における投入電力の効果: 愛知教育大学, 49–57 p.

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