@article{weko_861_1, author = "清水,秀己 and 矢田,真士", title = "高周波スパッタリングによるSi(111)基板上ZnO薄膜作製における3C-SiCバッファ層の効果", journal = "愛知教育大学研究報告. 芸術・保健体育・家政・技術科学・創作編", year = "2013", volume = "62", number = "", pages = "59--65", month = "mar" }