@article{weko_861_1,
   author	 = "清水,秀己 and 矢田,真士",
   title	 = "高周波スパッタリングによるSi（111）基板上ZnO薄膜作製における3C-SiCバッファ層の効果",
   journal	 = "愛知教育大学研究報告. 芸術・保健体育・家政・技術科学・創作編",
   year 	 = "2013",
   volume	 = "62",
   number	 = "",
   pages	 = "59--65",
   month	 = "mar"
}