@misc{oai:aue.repo.nii.ac.jp:00005537,
 author = {加藤, 明},
 month = {Mar},
 note = {text, 平成20年度 修士論文 抄録},
 title = {プラズマアシストCVDによる3C-SiC/Si(111)ヘテロエピタキシャル低温成長に関する研究},
 year = {2009}
}