@article{oai:aue.repo.nii.ac.jp:00005867,
 author = {清水, 秀己 and 大塚, 一毅},
 journal = {愛知教育大学研究報告. 芸術・保健体育・家政・技術科学・創作編},
 month = {Mar},
 note = {text},
 pages = {69--73},
 title = {高周波マグネトロンスパッタリングによるZnO薄膜の微細構造と電気的・光学的特性の膜厚依存性},
 volume = {66},
 year = {2017}
}