@article{oai:aue.repo.nii.ac.jp:00000828,
 author = {清水, 秀己 and 久野, 慶太},
 journal = {愛知教育大学研究報告. 芸術・保健体育・家政・技術科学・創作編},
 month = {Mar},
 note = {text},
 pages = {45--50},
 title = {高周波マグネトロンスパッタリングによるZnO薄膜作製におけるスパッタリングガス圧力の効果},
 volume = {64},
 year = {2015}
}