@article{oai:aue.repo.nii.ac.jp:00000861,
 author = {清水, 秀己 and 矢田, 真士},
 journal = {愛知教育大学研究報告. 芸術・保健体育・家政・技術科学・創作編},
 month = {Mar},
 note = {text},
 pages = {59--65},
 title = {高周波スパッタリングによるSi（111）基板上ZnO薄膜作製における3C-SiCバッファ層の効果},
 volume = {62},
 year = {2013}
}