@article{oai:aue.repo.nii.ac.jp:00000901,
 author = {清水, 秀己 and 萩原, 基文},
 journal = {愛知教育大学研究報告. 芸術・保健体育・家政・技術科学・創作編},
 month = {Mar},
 note = {text},
 pages = {71--79},
 title = {高周波スパッタリングによるZnO薄膜作製におけるAlドーピング（Ⅱ）},
 volume = {60},
 year = {2011}
}