@article{oai:aue.repo.nii.ac.jp:00000915,
 author = {清水, 秀己 and 徳重, 雄紀},
 journal = {愛知教育大学研究報告. 芸術・保健体育・家政・技術科学・創作編},
 month = {Mar},
 note = {text},
 pages = {55--61},
 title = {高周波スパッタリングによるZnO薄膜作製におけるAlドーピング},
 volume = {59},
 year = {2010}
}