@article{oai:aue.repo.nii.ac.jp:00000982,
 author = {清水, 秀己 and 伊貝, 明},
 journal = {愛知教育大学研究報告. 芸術・保健体育・家政・技術科学・創作編},
 month = {Mar},
 note = {text},
 pages = {41--49},
 title = {RFプラズマCVDによるアモルファスカーボン薄膜の作製},
 volume = {52},
 year = {2003}
}