@article{oai:aue.repo.nii.ac.jp:00000990,
 author = {清水, 秀己},
 journal = {愛知教育大学研究報告. 芸術・保健体育・家政・技術科学・創作編},
 month = {Mar},
 note = {text},
 pages = {45--52},
 title = {偏光解析によるシリコン基板表面粗さの評価},
 volume = {51},
 year = {2002}
}