高周波マグネトロンスパッタリングによるZnO薄膜の微細構造と電気的・光学的特性の膜厚依存性

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学術雑誌論文（学内発行分）

愛知教育大学研究報告. 芸術・保健体育・家政・技術科学・創作編

第66輯

Permalink : http://hdl.handle.net/10424/7048

高周波マグネトロンスパッタリングによるZnO薄膜の微細構造と電気的・光学的特性の膜厚依存性

File / Name	License
kengei666973.pdf
kengei666973.pdf (755.75KB) [ 206 downloads ]

アイテムタイプ	紀要論文 / Departmental Bulletin Paper
言語	日本語
キーワード	ZnO薄膜, ZnO thin film, 高周波マグネトロンスパッタリング, RF magnetron sputtering
その他のタイトル	Thickness Dependence of Microstructures and Electrical and Optical Properties of ZnO Thin Films Deposited by RF Magnetron Sputtering
著者	清水秀己 ( 科研費研究者番号: 70126936 , KAKEN - 研究者検索: 70126936 ) 大塚一毅
研究者総覧へのリンク	清水, 秀己
著者(別言語)	Shimizu, Hideki Ohtsuka, Kazuki
雑誌名	愛知教育大学研究報告. 芸術・保健体育・家政・技術科学・創作編
巻	66
ページ	69 - 73
発行年	2017-03-01
出版者	愛知教育大学
ISSN	1884-5150
書誌情報	愛知教育大学研究報告, 芸術・保健体育・家政・技術科学・創作編 2017, 66, p. 69-73.
書誌レコードID	AA12466178
著者版フラグ	publisher
著者別名	シミズ, ヒデキオオツカ, カズキ
資源タイプ	text

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