WEKO3
アイテム
低温成長SiC/Siヘテロエピタキシャル薄膜の結晶構造に関する研究
http://hdl.handle.net/10424/4468
http://hdl.handle.net/10424/44681cc01c94-49d0-417a-acfa-ab62b2daa3aa
名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||||
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公開日 | 2012-03-30 | |||||||
タイトル | ||||||||
タイトル | 低温成長SiC/Siヘテロエピタキシャル薄膜の結晶構造に関する研究 | |||||||
言語 | ||||||||
言語 | jpn | |||||||
キーワード | ||||||||
主題Scheme | Other | |||||||
主題 | SiC | |||||||
キーワード | ||||||||
主題Scheme | Other | |||||||
主題 | Si(III) | |||||||
キーワード | ||||||||
主題Scheme | Other | |||||||
主題 | ヘテロエピタキシャル | |||||||
キーワード | ||||||||
主題Scheme | Other | |||||||
主題 | Hetero Epitaxial | |||||||
資源タイプ | ||||||||
資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_46ec | |||||||
資源タイプ | thesis | |||||||
著者 |
渡邉, 隆史
× 渡邉, 隆史
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内容記述 | ||||||||
内容記述タイプ | Other | |||||||
内容記述 | 平成23年度 修士論文 抄録 | |||||||
書誌事項 | 発行日 2012-03-30 | |||||||
出版者 | ||||||||
出版者 | 愛知教育大学 | |||||||
資源タイプ | ||||||||
内容記述タイプ | Other | |||||||
内容記述 | text |