WEKO3
-
RootNode
アイテム
プラズマアシストCVDによる3C-SiC/Si(111)ヘテロエピタキシャル低温成長に関する研究
http://hdl.handle.net/10424/1401
http://hdl.handle.net/10424/14010f079e02-609f-40c6-8547-a36506a1f573
名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
---|---|---|
![]() |
|
Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
公開日 | 2009-03-16 | |||||||
タイトル | ||||||||
タイトル | プラズマアシストCVDによる3C-SiC/Si(111)ヘテロエピタキシャル低温成長に関する研究 | |||||||
言語 | ||||||||
言語 | jpn | |||||||
資源タイプ | ||||||||
資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_46ec | |||||||
資源タイプ | thesis | |||||||
著者 |
加藤, 明
× 加藤, 明
|
|||||||
内容記述 | ||||||||
内容記述タイプ | Other | |||||||
内容記述 | 平成20年度 修士論文 抄録 | |||||||
書誌事項 | 発行日 2009-03-16 | |||||||
出版者 | ||||||||
出版者 | 愛知教育大学 | |||||||
資源タイプ | ||||||||
内容記述タイプ | Other | |||||||
内容記述 | text |