WEKO3
アイテム
プラズマアシストCVDによる3C-SiC/Si(111)ヘテロエピタキシャル低温成長に関する研究
http://hdl.handle.net/10424/1401
http://hdl.handle.net/10424/14010f079e02-609f-40c6-8547-a36506a1f573
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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shuron-20-148.pdf (155.7 kB)
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| Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||||
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| 公開日 | 2009-03-16 | |||||||
| タイトル | ||||||||
| タイトル | プラズマアシストCVDによる3C-SiC/Si(111)ヘテロエピタキシャル低温成長に関する研究 | |||||||
| 言語 | ||||||||
| 言語 | jpn | |||||||
| 資源タイプ | ||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_46ec | |||||||
| 資源タイプ | thesis | |||||||
| 著者 |
加藤, 明
× 加藤, 明
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| 内容記述 | ||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||
| 内容記述 | 平成20年度 修士論文 抄録 | |||||||
| 書誌事項 | 発行日 2009-03-16 | |||||||
| 出版者 | ||||||||
| 出版者 | 愛知教育大学 | |||||||
| 資源タイプ | ||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||
| 内容記述 | text | |||||||
