WEKO3
アイテム
{"_buckets": {"deposit": "57de4400-7cff-4129-a497-e3270eaf91c0"}, "_deposit": {"created_by": 3, "id": "990", "owners": [3], "pid": {"revision_id": 0, "type": "depid", "value": "990"}, "status": "published"}, "_oai": {"id": "oai:aue.repo.nii.ac.jp:00000990", "sets": ["127"]}, "author_link": ["25"], "item_3_alternative_title_1": {"attribute_name": "その他のタイトル", "attribute_value_mlt": [{"subitem_alternative_title": "Evaluation of Surface Roughness for Silicon Substrate by Ellipsometry"}]}, "item_3_biblio_info_7": {"attribute_name": "書誌事項", "attribute_value_mlt": [{"bibliographicIssueDates": {"bibliographicIssueDate": "2002-03-01", "bibliographicIssueDateType": "Issued"}, "bibliographicPageEnd": "52", "bibliographicPageStart": "45", "bibliographicVolumeNumber": "51", "bibliographic_titles": [{"bibliographic_title": "愛知教育大学研究報告. 芸術・保健体育・家政・技術科学・創作編"}]}]}, "item_3_description_27": {"attribute_name": "資源タイプ", "attribute_value_mlt": [{"subitem_description": "text", "subitem_description_type": "Other"}]}, "item_3_link_3": {"attribute_name": "研究者総覧へのリンク", "attribute_value_mlt": [{"subitem_link_text": "清水, 秀己", "subitem_link_url": "https://souran.aichi-edu.ac.jp/person/698d51a19d8a121ce581499d7b701668ja.html"}]}, "item_3_publisher_8": {"attribute_name": "出版者", "attribute_value_mlt": [{"subitem_publisher": "愛知教育大学"}]}, "item_3_source_id_11": {"attribute_name": "書誌レコードID", "attribute_value_mlt": [{"subitem_source_identifier": "AA11528269", "subitem_source_identifier_type": "NCID"}]}, "item_3_source_id_9": {"attribute_name": "ISSN", "attribute_value_mlt": [{"subitem_source_identifier": "1346-1818", "subitem_source_identifier_type": "ISSN"}]}, "item_3_text_10": {"attribute_name": "書誌情報", "attribute_value_mlt": [{"subitem_text_value": "愛知教育大学研究報告, 芸術・保健体育・家政・技術科学・創作編. 2002, 51, p.45-52."}]}, "item_3_text_26": {"attribute_name": "著者別名", "attribute_value_mlt": [{"subitem_text_value": "シミズ, ヒデキ"}]}, "item_3_text_29": {"attribute_name": "旧登録日", "attribute_value_mlt": [{"subitem_text_value": "2008-12-04T05:58:14Z"}]}, "item_3_text_30": {"attribute_name": "旧公開日", "attribute_value_mlt": [{"subitem_text_value": "2008-12-04T05:58:14Z"}]}, "item_3_text_31": {"attribute_name": "旧ソートキー", "attribute_value_mlt": [{"subitem_text_value": "07"}]}, "item_3_text_4": {"attribute_name": "著者(別言語)", "attribute_value_mlt": [{"subitem_text_value": "Shimizu, Hideki"}]}, "item_3_version_type_14": {"attribute_name": "著者版フラグ", "attribute_value_mlt": [{"subitem_version_resource": "http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85", "subitem_version_type": "VoR"}]}, "item_creator": {"attribute_name": "著者", "attribute_type": "creator", "attribute_value_mlt": [{"creatorNames": [{"creatorName": "清水, 秀己"}], "nameIdentifiers": [{"nameIdentifier": "25", "nameIdentifierScheme": "WEKO"}, {"nameIdentifier": "70126936", "nameIdentifierScheme": "e-Rad", "nameIdentifierURI": "https://kaken.nii.ac.jp/ja/search/?qm=70126936"}, {"nameIdentifier": "70126936", "nameIdentifierScheme": "KAKEN - 研究者検索", "nameIdentifierURI": "https://nrid.nii.ac.jp/ja/nrid/1000070126936/"}]}]}, "item_files": {"attribute_name": "ファイル情報", "attribute_type": "file", "attribute_value_mlt": [{"accessrole": "open_date", "date": [{"dateType": "Available", "dateValue": "2017-03-27"}], "displaytype": "detail", "download_preview_message": "", "file_order": 0, "filename": "kengei514552.pdf", "filesize": [{"value": "238.3 kB"}], "format": "application/pdf", "future_date_message": "", "is_thumbnail": false, "licensetype": "license_free", "mimetype": "application/pdf", "size": 238300.0, "url": {"label": "kengei514552.pdf", "url": "https://aue.repo.nii.ac.jp/record/990/files/kengei514552.pdf"}, "version_id": "c4043fea-e67b-4797-b1c9-5d05cf300fdd"}]}, "item_keyword": {"attribute_name": "キーワード", "attribute_value_mlt": [{"subitem_subject": "偏光解析", "subitem_subject_scheme": "Other"}, {"subitem_subject": "Ellipsometry", "subitem_subject_scheme": "Other"}, {"subitem_subject": "シリコン", "subitem_subject_scheme": "Other"}, {"subitem_subject": "Silicon", "subitem_subject_scheme": "Other"}, {"subitem_subject": "表面粗さ", "subitem_subject_scheme": "Other"}, {"subitem_subject": "Surface Roughness", "subitem_subject_scheme": "Other"}, {"subitem_subject": "陽極酸化", "subitem_subject_scheme": "Other"}, {"subitem_subject": "Anodic Oxidation", "subitem_subject_scheme": "Other"}]}, "item_language": {"attribute_name": "言語", "attribute_value_mlt": [{"subitem_language": "jpn"}]}, "item_resource_type": {"attribute_name": "資源タイプ", "attribute_value_mlt": [{"resourcetype": "departmental bulletin paper", "resourceuri": "http://purl.org/coar/resource_type/c_6501"}]}, "item_title": "偏光解析によるシリコン基板表面粗さの評価", "item_titles": {"attribute_name": "タイトル", "attribute_value_mlt": [{"subitem_title": "偏光解析によるシリコン基板表面粗さの評価"}]}, "item_type_id": "3", "owner": "3", "path": ["127"], "permalink_uri": "http://hdl.handle.net/10424/646", "pubdate": {"attribute_name": "公開日", "attribute_value": "2008-12-04"}, "publish_date": "2008-12-04", "publish_status": "0", "recid": "990", "relation": {}, "relation_version_is_last": true, "title": ["偏光解析によるシリコン基板表面粗さの評価"], "weko_shared_id": 3}
偏光解析によるシリコン基板表面粗さの評価
http://hdl.handle.net/10424/646
http://hdl.handle.net/10424/6462219edd3-cb1b-428d-b674-f389810dc247
名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
---|---|---|
kengei514552.pdf (238.3 kB)
|
|
Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
---|---|---|---|---|---|---|
公開日 | 2008-12-04 | |||||
タイトル | ||||||
タイトル | 偏光解析によるシリコン基板表面粗さの評価 | |||||
言語 | ||||||
言語 | jpn | |||||
キーワード | ||||||
主題Scheme | Other | |||||
主題 | 偏光解析 | |||||
キーワード | ||||||
主題Scheme | Other | |||||
主題 | Ellipsometry | |||||
キーワード | ||||||
主題Scheme | Other | |||||
主題 | シリコン | |||||
キーワード | ||||||
主題Scheme | Other | |||||
主題 | Silicon | |||||
キーワード | ||||||
主題Scheme | Other | |||||
主題 | 表面粗さ | |||||
キーワード | ||||||
主題Scheme | Other | |||||
主題 | Surface Roughness | |||||
キーワード | ||||||
主題Scheme | Other | |||||
主題 | 陽極酸化 | |||||
キーワード | ||||||
主題Scheme | Other | |||||
主題 | Anodic Oxidation | |||||
資源タイプ | ||||||
資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
その他のタイトル | ||||||
その他のタイトル | Evaluation of Surface Roughness for Silicon Substrate by Ellipsometry | |||||
著者 |
清水, 秀己
× 清水, 秀己 |
|||||
研究者総覧へのリンク | ||||||
清水, 秀己 | ||||||
https://souran.aichi-edu.ac.jp/person/698d51a19d8a121ce581499d7b701668ja.html | ||||||
著者(別言語) | ||||||
Shimizu, Hideki | ||||||
書誌事項 |
愛知教育大学研究報告. 芸術・保健体育・家政・技術科学・創作編 巻 51, p. 45-52, 発行日 2002-03-01 |
|||||
出版者 | ||||||
出版者 | 愛知教育大学 | |||||
ISSN | ||||||
収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
収録物識別子 | 1346-1818 | |||||
書誌情報 | ||||||
愛知教育大学研究報告, 芸術・保健体育・家政・技術科学・創作編. 2002, 51, p.45-52. | ||||||
書誌レコードID | ||||||
収録物識別子タイプ | NCID | |||||
収録物識別子 | AA11528269 | |||||
著者版フラグ | ||||||
出版タイプ | VoR | |||||
出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||
著者別名 | ||||||
シミズ, ヒデキ | ||||||
資源タイプ | ||||||
内容記述タイプ | Other | |||||
内容記述 | text |