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高周波マグネトロンスパッタリングによるZnO薄膜作製におけるスパッタリングガス圧力の効果
http://hdl.handle.net/10424/5946
http://hdl.handle.net/10424/59462a805f92-2686-4e1f-ae8f-bb94767810da
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
kengei644550.pdf (1.7 MB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2015-03-30 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 高周波マグネトロンスパッタリングによるZnO薄膜作製におけるスパッタリングガス圧力の効果 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | 透過電子顕微鏡像 | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | TEM | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | X線解析 | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | X-Ray Diffraction | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| その他のタイトル | ||||||
| その他のタイトル | Effects of Sputtering Gas Pressure on Formation of Zinc Oxide Films by RF Magnetron Sputtering | |||||
| 著者 |
清水, 秀己
× 清水, 秀己× 久野, 慶太 |
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| 研究者総覧へのリンク | ||||||
| 清水, 秀己 | ||||||
| https://souran.aichi-edu.ac.jp/person/698d51a19d8a121ce581499d7b701668ja.html | ||||||
| 著者(別言語) | ||||||
| Shimizu, Hideki | ||||||
| 著者(別言語) | ||||||
| Kuno, Keita | ||||||
| 書誌事項 |
愛知教育大学研究報告. 芸術・保健体育・家政・技術科学・創作編 巻 64, p. 45-50, 発行日 2015-03-01 |
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| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 愛知教育大学 | |||||
| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 1884-5150 | |||||
| 書誌情報 | ||||||
| 愛知教育大学研究報告, 芸術・保健体育・家政・技術科学・創作編. 2015, 64, p. 45-50. | ||||||
| 書誌レコードID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AA12466178 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||
| 著者別名 | ||||||
| シミズ, ヒデキ | ||||||
| 著者別名 | ||||||
| クノ, ケイタ | ||||||
| 資源タイプ | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | text | |||||
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Cite as
清水, 秀己, 久野, 慶太, 2015, 高周波マグネトロンスパッタリングによるZnO薄膜作製におけるスパッタリングガス圧力の効果: 愛知教育大学, 45–50 p.
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