WEKO3
アイテム
RFプラズマCVDによるアモルファスカーボン薄膜の作製
http://hdl.handle.net/10424/647
http://hdl.handle.net/10424/6475210ed6f-2d8e-4de0-b60b-a6e6f865e121
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
kengei524149.pdf (230.6 kB)
|
|
| アイテムタイプ | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2008-12-04 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | RFプラズマCVDによるアモルファスカーボン薄膜の作製 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | RFプラズマCVD | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | RF Plasma CVD | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | アモルファスカーボン | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | Amorphous Carbon | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | 偏光解析 | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | Ellipsometry | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| その他のタイトル | ||||||
| その他のタイトル | Formation of Amorphous Carbon Films by RF Plasma CVD | |||||
| 著者 |
清水, 秀己
× 清水, 秀己× 伊貝, 明 |
|||||
| 研究者総覧へのリンク | ||||||
| 清水, 秀己 | ||||||
| https://souran.aichi-edu.ac.jp/person/698d51a19d8a121ce581499d7b701668ja.html | ||||||
| 著者(別言語) | ||||||
| Shimizu, Hideki | ||||||
| 著者(別言語) | ||||||
| Ikai, Akira | ||||||
| 書誌事項 |
愛知教育大学研究報告. 芸術・保健体育・家政・技術科学・創作編 巻 52, p. 41-49, 発行日 2003-03-01 |
|||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 愛知教育大学 | |||||
| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 1346-1818 | |||||
| 書誌情報 | ||||||
| 愛知教育大学研究報告, 芸術・保健体育・家政・技術科学・創作編. 2003, 52, p.41-49. | ||||||
| 書誌レコードID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AA11528269 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||
| 著者別名 | ||||||
| シミズ, ヒデキ | ||||||
| 著者別名 | ||||||
| イカイ, アキラ | ||||||
| 資源タイプ | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | text | |||||
