WEKO3
アイテム
RFプラズマCVDによるアモルファスカーボン薄膜の作製
http://hdl.handle.net/10424/647
http://hdl.handle.net/10424/6475210ed6f-2d8e-4de0-b60b-a6e6f865e121
名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
---|---|---|
![]() |
|
Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
公開日 | 2008-12-04 | |||||||||
タイトル | ||||||||||
タイトル | RFプラズマCVDによるアモルファスカーボン薄膜の作製 | |||||||||
言語 | ||||||||||
言語 | jpn | |||||||||
キーワード | ||||||||||
主題Scheme | Other | |||||||||
主題 | RFプラズマCVD | |||||||||
キーワード | ||||||||||
主題Scheme | Other | |||||||||
主題 | RF Plasma CVD | |||||||||
キーワード | ||||||||||
主題Scheme | Other | |||||||||
主題 | アモルファスカーボン | |||||||||
キーワード | ||||||||||
主題Scheme | Other | |||||||||
主題 | Amorphous Carbon | |||||||||
キーワード | ||||||||||
主題Scheme | Other | |||||||||
主題 | 偏光解析 | |||||||||
キーワード | ||||||||||
主題Scheme | Other | |||||||||
主題 | Ellipsometry | |||||||||
資源タイプ | ||||||||||
資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||
資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||||||
その他のタイトル | ||||||||||
その他のタイトル | Formation of Amorphous Carbon Films by RF Plasma CVD | |||||||||
著者 |
清水, 秀己
× 清水, 秀己
× 伊貝, 明
|
|||||||||
研究者総覧へのリンク | ||||||||||
清水, 秀己 | ||||||||||
https://souran.aichi-edu.ac.jp/person/698d51a19d8a121ce581499d7b701668ja.html | ||||||||||
著者(別言語) | ||||||||||
Shimizu, Hideki | ||||||||||
著者(別言語) | ||||||||||
Ikai, Akira | ||||||||||
書誌事項 |
愛知教育大学研究報告. 芸術・保健体育・家政・技術科学・創作編 巻 52, p. 41-49, 発行日 2003-03-01 |
|||||||||
出版者 | ||||||||||
出版者 | 愛知教育大学 | |||||||||
ISSN | ||||||||||
収録物識別子タイプ | ISSN | |||||||||
収録物識別子 | 1346-1818 | |||||||||
書誌情報 | ||||||||||
愛知教育大学研究報告, 芸術・保健体育・家政・技術科学・創作編. 2003, 52, p.41-49. | ||||||||||
書誌レコードID | ||||||||||
収録物識別子タイプ | NCID | |||||||||
収録物識別子 | AA11528269 | |||||||||
著者版フラグ | ||||||||||
出版タイプ | VoR | |||||||||
出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||
著者別名 | ||||||||||
シミズ, ヒデキ | ||||||||||
著者別名 | ||||||||||
イカイ, アキラ | ||||||||||
資源タイプ | ||||||||||
内容記述タイプ | Other | |||||||||
内容記述 | text |