WEKO3
アイテム
シリコン熱酸化膜形成におけるオゾンの促進効果
http://hdl.handle.net/10424/643
http://hdl.handle.net/10424/643f84a393f-6f56-4258-ab1f-913a9a0db076
名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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kengei495765.pdf (283.7 kB)
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Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
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公開日 | 2008-12-04 | |||||
タイトル | ||||||
タイトル | シリコン熱酸化膜形成におけるオゾンの促進効果 | |||||
言語 | ||||||
言語 | jpn | |||||
キーワード | ||||||
主題Scheme | Other | |||||
主題 | 熱酸化 | |||||
キーワード | ||||||
主題Scheme | Other | |||||
主題 | Thermal Oxidation | |||||
キーワード | ||||||
主題Scheme | Other | |||||
主題 | オゾン | |||||
キーワード | ||||||
主題Scheme | Other | |||||
主題 | Ozone | |||||
キーワード | ||||||
主題Scheme | Other | |||||
主題 | シリコン | |||||
キーワード | ||||||
主題Scheme | Other | |||||
主題 | Silicon | |||||
資源タイプ | ||||||
資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
その他のタイトル | ||||||
その他のタイトル | Effects of Ozone on Thermal Oxidation of Silicon | |||||
著者 |
清水, 秀己
× 清水, 秀己× 種村, 修一 |
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研究者総覧へのリンク | ||||||
表示名 | 清水, 秀己 | |||||
URL | https://souran.aichi-edu.ac.jp/person/698d51a19d8a121ce581499d7b701668ja.html | |||||
著者(別言語) | ||||||
値 | Shimizu, Hideki | |||||
著者(別言語) | ||||||
値 | Tanemura, Syuichi | |||||
抄録 | ||||||
内容記述タイプ | Abstract | |||||
内容記述 | Thermal oxidation of Silicon a mixed oxygen and ozone ambient in the temperature range of 400℃-800℃ is reported. Beteen 400℃ and 600℃ a large enhancement in oxidation is observed compared with conventional oxide growth in a pure oxygen ambient. For temperature above 800℃ conventional thermal oxidation dominates and no significant enhancement is found. Effects of Ozone in short-time oxidation is more remarkable than in long-time oxidation, reflecting that surface reaction dominates in short-time oxidation. | |||||
書誌事項 |
愛知教育大学研究報告. 芸術・保健体育・家政・技術科学 巻 49, p. 57-65, 発行日 2000-03-01 |
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出版者 | ||||||
出版者 | 愛知教育大学 | |||||
ISSN | ||||||
収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
収録物識別子 | 0388-7367 | |||||
書誌情報 | ||||||
値 | 愛知教育大学研究報告, 芸術・保健体育・家政・技術科学. 2000, 49, p.57-65. | |||||
書誌レコードID | ||||||
収録物識別子タイプ | NCID | |||||
収録物識別子 | AN00006773 | |||||
著者版フラグ | ||||||
出版タイプ | VoR | |||||
出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||
著者別名 | ||||||
値 | シミズ, ヒデキ | |||||
著者別名 | ||||||
値 | タネムラ, シュウイチ | |||||
著者別名 | ||||||
値 | Tanemura, Shuichi | |||||
資源タイプ | ||||||
内容記述タイプ | Other | |||||
内容記述 | text |