WEKO3
アイテム
シリコン熱酸化膜形成におけるオゾンの促進効果
http://hdl.handle.net/10424/643
http://hdl.handle.net/10424/643f84a393f-6f56-4258-ab1f-913a9a0db076
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
kengei495765.pdf (283.7 kB)
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| アイテムタイプ | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2008-12-04 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | シリコン熱酸化膜形成におけるオゾンの促進効果 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | 熱酸化 | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | Thermal Oxidation | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | オゾン | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | Ozone | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | シリコン | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | Silicon | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| その他のタイトル | ||||||
| その他のタイトル | Effects of Ozone on Thermal Oxidation of Silicon | |||||
| 著者 |
清水, 秀己
× 清水, 秀己× 種村, 修一 |
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| 研究者総覧へのリンク | ||||||
| 清水, 秀己 | ||||||
| https://souran.aichi-edu.ac.jp/person/698d51a19d8a121ce581499d7b701668ja.html | ||||||
| 著者(別言語) | ||||||
| Shimizu, Hideki | ||||||
| 著者(別言語) | ||||||
| Tanemura, Syuichi | ||||||
| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | Thermal oxidation of Silicon a mixed oxygen and ozone ambient in the temperature range of 400℃-800℃ is reported. Beteen 400℃ and 600℃ a large enhancement in oxidation is observed compared with conventional oxide growth in a pure oxygen ambient. For temperature above 800℃ conventional thermal oxidation dominates and no significant enhancement is found. Effects of Ozone in short-time oxidation is more remarkable than in long-time oxidation, reflecting that surface reaction dominates in short-time oxidation. | |||||
| 書誌事項 |
愛知教育大学研究報告. 芸術・保健体育・家政・技術科学 巻 49, p. 57-65, 発行日 2000-03-01 |
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| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 愛知教育大学 | |||||
| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 0388-7367 | |||||
| 書誌情報 | ||||||
| 愛知教育大学研究報告, 芸術・保健体育・家政・技術科学. 2000, 49, p.57-65. | ||||||
| 書誌レコードID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AN00006773 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||
| 著者別名 | ||||||
| シミズ, ヒデキ | ||||||
| 著者別名 | ||||||
| タネムラ, シュウイチ | ||||||
| 著者別名 | ||||||
| Tanemura, Shuichi | ||||||
| 資源タイプ | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | text | |||||
